小流量測量分兩種情況，一種是以較高的精度測量流過細小管道的氣體或液體；另一種是測量流量非常緩慢的流體的流量。適合用來測量微小流量的常用氣體流量計有很多種，例如差壓式、浮子式、旋渦式、熱式等，其中有些氣體流量計既適合測量中、大流量，也適合測量微小流量，而另一些專門為測量微小流量而設計。以下介紹幾種比較常見的流量計供參考。

    1、差壓式流量計：適合測量小流量的差壓式流量計主要是內藏孔板差壓式流量計。這種流量計去別于由標準節流裝置為傳感器的流量計。首先是結構上的差別，內藏孔板是傳感器與變送器合為一體。第二個是管徑上的差別，內藏孔板適用的管徑均小于50mm，典型的管道內徑為10mm和20mm。第三個是測量準確度上的差別，內藏孔板可通過實流標定的方法來保證測量準確度，工況條件允許的情況下經過實流標定能達到1.5級的測量準確度。

    2、浮子流量計 ：浮子流量計也可以稱為轉子流量計，按材料分類主要有玻璃管浮子流量計、金屬管浮子流量計。浮子流量計因為具有壓力損失較小，測量范圍比較大的優勢，成為了工業控制中常用的一種流量測量儀表，另外浮子流量計還具有使用方便，兼容性強等優勢。特別適宜低流速小流量的介質流量測量。浮子流量計的結構比較簡單、讀書直觀、壓力損失小、維修維護方便等特點。浮子流量計適用于測量通過管道直徑D<100mm的小流量，經特殊處理后也可以測量腐蝕性介質的流量。

    3、熱式氣體質量流量計 ：熱式氣體質量流量計的主要特點是直接測量質量流量無需溫壓補償。無活動部件，壓力損失小，可靠性高。可測量低流速微小氣體流量。要求氣體介質干燥潔凈，不含水分、油等雜質。插入式熱式氣體質量流量計同樣適用于中、大口徑氣體流量的測量。熱式氣體質量流量計的量程比寬500:1，可根據用戶實際需要擴展。可實現大管徑小流量的測量，小流量下限可測低至流速為0.5Nm/s。